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微电容检测技术

2012-03-01 15:43:47   发表:

     在MMG检测技术中,利用电容 传感器 敏感试验质量片在哥氏力作用下的振动角位移,获取输入角速率信号。由于 陀螺仪 的尺寸微小,为了得到10°/h的中等精度,要求电容测量分辨率达到(0.01×10 -15)~(1×10 -18)法拉。因此,对于微机械 加速度计 和向机械陀螺仪来说,检测试验质量和基片之间的电容变化是一个关键技术。目前在MMG中采用的微电容检测方案有三种: 开关 电容前在MMG中采用的微电容检测方案有三种:开关电容 电路 、单位增益放大电路和电荷放大电路。

  2.1 开关电容电路

  其基本原理是利用电容的充放电将未知电容变化转换为电压输出。该测量电路包括一个电荷 放大器 、一个采样保持电路,如图1所示;以及 控制开关 的时序,如图2所示。


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